Есть конспект?
Пришлите нам!

Разработана энергонезависимая ячейка памяти с самостоятельной юстировкой


РАЗРАБОТАНА ЭНЕРГОНЕЗАВИСИМАЯ ЯЧЕЙКА ПАМЯТИ С САМОСТОЯТЕЛЬНОЙ ЮСТИРОВКОЙ

В немецкой компании Simens Aktiengesellschaft была создана энергонезависимая ячейка памяти, которая отличается хорошей связью между плавающим затвором и управляющим затвором и уменьшенными затратами на топологию. Одно из самых существенных ее достоинств заключается в том, что ее можно изготавливать с полностью самостоятельной юстировкой.

Обычные энергонезависимые ячейки памяти основываются на концепции так называемого плавающего затвора, причем в последующем плавающий затвор используют в качестве электрода запоминающего затвора с целью запоминания заряда. При этой концепции плавающего затвора электрически полностью изолированный затвор, а именно плавающий затвор, который состоит обычно из поликристаллического кремния, образует собственно запоминающий затвор. Этот плавающий затвор емкостно связан с другим затвором, а именно управляющим затвором, соответственно электродом управляющего затвора, и управляется им. Плавающий затвор и управляющий затвор находятся в двух плоскостях, которые отделены друг от друга изолирующим слоем, например слоем диоксида кремния. Так же как и плавающий затвор, управляющий затвор состоит из поликристаллического кремния.

Из-за необходимых высоких программирующих напряжений в запоминающих устройствах с такими ячейками памяти емкостная связь этого напряжения с плавающим затвором должна быть как можно возможно большей, что может быть достигнуто за счет соответственно больших перекрывающихся поверхностей между плавающим затвором и управляющим затвором. Другими словами, область, в которой плавающий затвор и управляющий затвор перекрывают друг друга, должна быть выполнена как можно большей. Такое требование находится в противоречии с общим желанием повышения плотности интеграции, поскольку как раз за счет латерального выполнения областей перекрытия между плавающим затвором и управляющим затвором теряется ценная поверхность интегральной микросхемы.

Устранить это противоречие и создать энергонезависимую ячейку памяти, которая отличается хорошей связью между плавающим затвором и управляющим затвором и уменьшенными затратами на топологию, удалось инженеру Георгу Темпелю из немецкой компании Simens Aktiengesellschaft.

Эта энергонезависимая ячейка памяти, содержит области стока и истока, разделенные друг от друга областью канала и выполненные в поверхности полупроводниковой подложки, полностью изолированный электрод запоминающего затвора, выполненный в чашеобразном углублении полупроводниковой подложки, электрод управляющего затвора, который для емкостной связи с электродом запоминающего затвора входит в углубление полупроводниковой подложки. Причем углубление полупроводниковой подложки, в котором размещены электроды затворов, расположено между областью истока и областью стока. Оксид затвора, изолирующий электрод запоминающего затвора от полупроводниковой подложки, имеет в области поверхности подложки меньшую толщину, чем в углублении, входящем внутрь подложки, а область канала выполнена в области поверхности подложки вокруг углубления в горизонтальном направлении в указанной области меньшей толщины.

В такой ячейке памяти электрод запоминающего затвора может окружать электрод управляющего затвора, находящийся в середине углубления, U-образно, а также полностью окружен слоями диоксида кремния. При этом электрод запоминающего затвора и электрод управляющего затвора могут состоять из поликристаллического кремния с введенными примесями.

Особое преимущество данной ячейки памяти состоит в том, что ее можно изготавливать с полностью самостоятельной юстировкой, в которой транзисторный канал проходит в области поверхности полупроводникового корпуса, в то время как плавающий затвор и управляющий затвор расположены с взаимным перекрытием в канавке, соответственно, в траншее. Поверхность полупроводникового корпуса является полностью планарной с канавкой, так что она отлично приспособлена для нанесения линий слов, а также для других литографических операций.


Dr.BoT© Konspektiruem.ru